一、電化學傳感器（EC）：半導體特氣與劇毒氣體的"分子級偵察兵"

核心技術原理：電化學傳感器通過目標氣體在傳感電極發(fā)生氧化或還原反應，產(chǎn)生與氣體濃度成正比的電流信號，實現(xiàn)ppb至ppm級的極高靈敏度檢測。

在D-ReX PoU的氣體檢測體系中，電化學傳感器承擔著最精密、最敏感的監(jiān)測任務，主要面向半導體行業(yè)特有的劇毒氣體和腐蝕性氣體。

典型應用氣體（部分）：

氣體類別 代表氣體 典型測量范圍 應用場景

氫化物 砷化氫（AsH?）、磷化氫（PH?）、硅烷（SiH?） 0-1 ppm 半導體外延生長、離子注入

腐蝕性氣體 氯氣（Cl?）、氟氣（F?）、氯化氫（HCl） 0-10 ppm 蝕刻工藝、腔體清洗

常規(guī)毒氣 一氧化碳（CO）、硫化氫（H?S）、氨氣（NH?） 0-100/1000 ppm 化工生產(chǎn)、污水處理

技術亮點：D-ReX PoU提供針對特定氣體的專用傳感器，例如"Arsine / no H?"型號的AsH?傳感器，通過技術優(yōu)化消除了氫氣交叉干擾，確保在含氫環(huán)境中對砷化氫的檢測依然準確可靠。這對于半導體工藝環(huán)境（常伴隨氫氣使用）具有重要意義。

二、紅外傳感器（IR）：長壽命、抗中毒的"光學衛(wèi)士"

核心技術原理：基于氣體分子對特定波長紅外光的吸收特性，通過測量光強衰減量確定氣體濃度。非接觸式測量使其具備獨特的環(huán)境適應性優(yōu)勢。

紅外傳感器在D-ReX PoU中扮演著"耐久型選手"的角色，特別適合以下場景：

核心優(yōu)勢凸顯：

超長壽命：光學部件無消耗，壽命可達5-10年，遠超電化學傳感器

抗中毒能力強：不受硅化物、硫化物、鹵代烴等催化劑毒物影響

缺氧環(huán)境正常工作：唯一能在無氧環(huán)境中準確測量可燃氣體的技術

免維護周期長：適合無人值守的長期連續(xù)監(jiān)測

典型應用氣體：

氣體名稱 測量范圍 典型場景

二氧化碳（CO?） 0-1% / 5% / 10% / 25% / 50% vol 潔凈室、培養(yǎng)箱、釀造工藝

甲烷（CH?） 0-5% vol / 0-100% LEL 天然氣處理、管道監(jiān)測

丙烷（C?H?） 0-2% vol 液化氣存儲

一氧化二氮（N?O） 0-1000 ppm / 0-1% vol 醫(yī)療氣體、半導體工藝

選型指南：當監(jiān)測點存在催化劑毒物（如硅烷、鹵代烴），或需要超長免維護周期時，D-ReX PoU應優(yōu)先選擇紅外傳感器方案。

三、催化燃燒傳感器（CC）：可燃氣體爆炸風險的"通用哨兵"

核心技術原理：可燃氣體在催化珠表面無焰燃燒，引起傳感器電橋電路電阻變化，輸出與濃度成比例的信號，以%LEL（爆炸下限百分比）為單位直接指示爆炸風險。

催化燃燒傳感器是工業(yè)環(huán)境中監(jiān)測常規(guī)可燃氣體的經(jīng)濟實用之選：

技術特點：

響應通用性好：對絕大多數(shù)可燃氣體均有響應

技術成熟可靠：數(shù)十年工業(yè)應用驗證

成本相對較低：適合大規(guī)模布點

必須含氧環(huán)境：氧含量低于10%時可能失效或讀數(shù)不準

典型應用氣體：

氣體名稱 測量范圍 典型場景

甲烷（CH?） 0-100% LEL 天然氣處理、煤礦

氫氣（H?） 0-100% LEL 化工、燃料電池

丙烷/丁烷 0-100% LEL 液化氣站、廚房

有機溶劑蒸氣 0-100% LEL 噴涂車間、化工存儲

注意：催化燃燒傳感器易受硅化物、硫化物、鹵代烴中毒而永久失效。在存在此類物質(zhì)的環(huán)境中，D-ReX PoU的紅外傳感器是更優(yōu)選擇。

四、光離子化傳感器（PID）：揮發(fā)性有機物的"寬譜探測器"

核心技術原理：利用紫外光（10.6 eV）電離目標氣體分子，通過測量離子電流確定濃度。對揮發(fā)性有機物（VOCs）具有廣譜響應特性。

PID傳感器填補了其他技術對揮發(fā)性有機物檢測的空白：

典型應用氣體：

氣體名稱 測量范圍 典型場景

異丁烯 0-200 ppm / 0-2000 ppm 石化、橡膠

甲苯 0-1000 ppm 涂料、化工

庚烷 0-3000 ppm 溶劑、清洗劑

技術定位：

寬譜響應：可檢測數(shù)百種VOCs，適合未知成分的有機氣體環(huán)境

快速響應：適合泄漏檢測和應急監(jiān)測

濃度覆蓋廣：從ppb級到數(shù)千ppm均可覆蓋

五、四重技術協(xié)同：構(gòu)建完整的氣體監(jiān)測體系

D-ReX PoU的四大傳感器技術并非簡單堆砌，而是根據(jù)不同氣體的物理化學特性，形成明確的技術分工和協(xié)同體系：

傳感器類型 技術定位 核心優(yōu)勢 典型氣體

EC（電化學） 劇毒/腐蝕性氣體 高靈敏度（ppb級）、選擇性好 AsH?、PH?、Cl?、HCl

IR（紅外） 抗中毒/缺氧環(huán)境 超長壽命、抗中毒、無氧工作 CO?、CH?、碳氫化合物

CC（催化燃燒） 常規(guī)可燃氣體 通用性好、成本優(yōu)勢 甲烷、氫氣、溶劑蒸氣

PID（光離子化） 揮發(fā)性有機物 寬譜響應、快速檢測 異丁烯、甲苯、VOCs

選型靈活性：D-ReX PoU采用智能傳感器盒設計，支持熱插拔，無需工具即可更換。用戶可根據(jù)實際工況氣體類型，選擇最合適的傳感器配置。傳感器盒與主機通過Modbus通信，即插即用。

超越60種的檢測能力：通過四大技術的組合，D-ReX PoU可檢測氣體種類超過60種，涵蓋：

紅外傳感器：CO?、CH?、C?H?、N?O等

電化學傳感器：AsH?、PH?、SiH?、Cl?、HCl、HF、NH?、CO、H?S等30余種

催化燃燒傳感器：各類可燃氣體（%LEL）

PID傳感器：各類VOCs

需配合Py-Rex熱解器的特殊氣體：NF?、SF?、CH?F等

六、技術融合的價值：為復雜工業(yè)環(huán)境提供精準守護

D-ReX PoU的四重技術融合，從單一技術擴展到多技術協(xié)同，實現(xiàn)了氣體監(jiān)測能力的質(zhì)的飛躍：

對半導體行業(yè)：可同時監(jiān)測AsH?（EC）、Cl?（EC）、CO?（IR）、易燃溶劑（PID），覆蓋工藝全流程的氣體風險。

對石油化工：可同時應對H?S（EC）、可燃氣（CC/IR）、VOCs（PID），滿足復雜組分監(jiān)測需求。

對實驗室/研發(fā)環(huán)境：無需預先確定氣體成分，依靠PID+EC+IR的寬譜覆蓋，應對未知泄漏風險。

D-ReX PoU之所以能夠?qū)崿F(xiàn)超過60種氣體的精準監(jiān)測，根本在于尊重氣體檢測的物理化學本質(zhì)——沒有一種傳感器技術能夠通吃所有氣體。通過EC、CC、IR、PID四大技術的科學融合，D-ReX PoU為每一個氣體分子找到最合適的"偵察兵"，讓復雜工業(yè)環(huán)境的氣體安全防護真正做到了有的放矢、精準可靠。